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                激光分束器是典型的衍射光学元件,它通过衍◥射作用将一束入射激光分成光强均匀分布的多束激光出ζ 射,在诸多光学领域有着重要的应用。在激光加工领Ψ域,激光分束DOE不仅要满足高衍射效率、高均匀性的要求,还要能够实现大角∏度分束。UPOLabs自身基于SLM相位研究【平台,融合了国内资深衍射元件设计团队和半导体刻蚀加工服务商一起,将加工工艺和设计计算整合成闭环的链式技术服务,为广㊣ 大科研客户和工业客户提供各类分束器件。
                规格参数

                基本原理

                激光分束器是一种典型的衍╲射光学元件,它通过衍射的作用将一束入射激光分成光强均匀分布的多束激光出射。特殊情况∞下,激光分束DOE不仅要满足高衍射效率、高均匀性的要求,还要能够实现大角度分♂束。
                根据衍射◆光学的理论,要增大衍射角度,就※必须减小分束DOE的周期。DOE周期下降也会导致近似精度下降特别是标量衍射理论方法计算时,这种影响显著,因卐此必须引入矢量设计方法。同时,DOE周期下降所带来加工工艺的要求急剧增加,如果不能将加工设备限制条件和加工误差考虑到设计计算过程中,将会带来▂衍射效率低下、分束不均匀、零级多大等系列问题,良品率极低。

                实际大规模应用中多数采用二值相位型DOE,利用光〖刻工艺制作母版,然后采用UV转印、纳米压印等系列工艺进行大规模◥生产,这种方式成本低,但精度差,一般用于消费级产品中。

                高精度工业级应用一♀般采用多台阶相位型DOE,可以实现大角度激光分束。多台阶DOE是一种周期性的二元光学元件,每个周期由多个相位单元组○成,这些相位︼单元形成了台阶状分布,这种设计方法在30度分束衍射角内的应用中,不均匀性精度可以控制到5%以内,且对加工误差要求具有较大兼容度。这种模式必须采用半导体刻◥蚀工艺,由专门的半导体芯片晶圆加工厂家生产,超大批量制作时单价↘便宜,但小规模制作时成本非常高。

                应用场景

                小角度分╱束<15°内的3~9点通常应用到高功率激光加工领域,划线切开、打孔等应用场景较为广泛,要求ㄨ衍射效率高,镀膜后能实现90%以上能量效率,不均匀性<5%;

                大角度分束<50°的应▲用通常应用到特定场景,目前主要用于多线激光器领域,作▽为机器视觉光源的核心部件。

                采购指南

                激光器↙分束器件的价格和加工周期与用户需求密切相关,请务必明¤确指标参数,如果不清楚具体∑参数,可以描述应用场景由我们技术人员给予指导明确。也敬请广大客户明确理解我们的态度:不支持“国产必︼须便宜!”这种观念,同等品质体系下,请尊重产品价值!只认产品性能价值,不讨论“出身问题”!


                型号信息

                一维分束器
                型号波长分束数角度
                450-1*3-9450nm1*39
                450-1*3-15450nm1*315
                450-1*5-14450nm1*514
                450-1*7-20450nm1*720
                450-1*11-30450nm1*1130
                450-1*11-35450nm1*1135
                450-1*13-38450nm1*1338
                450-1*15-36450nm1*1536
                450-1*17-40450nm1*1740
                450-1*25-18450nm1*2518
                450-1*49-23450nm1*4923
                450-1*99-45450nm1*9945
                450-1*101-15450nm1*10115
                650-1*3-9650nm1*39
                650-1*3-15650nm1*315
                650-1*5-19650nm1*519
                650-1*7-23650nm1*723
                650-1*7-28650nm1*728
                650-1*7-50650nm1*750
                650-1*9-30650nm1*930
                650-1*9-37650nm1*937
                650-1*11-30650nm1*1130
                650-1*13-38650nm1*1338
                650-1*25-36650nm1*2536
                850-1*11-30850nm1*1130
                905-1*5-12905nm1*512
                905-1*32-25905nm1*3225
                1064-1*3-0.321064nm1*30.32
                1064-1*4-0.431064nm1*40.43
                1064-1*4-5.391064nm1*45.39
                1064-1*23-10.81064nm1*2310.8
                1064-1*23-3.231064nm1*233.23
                1550-1*19-181550nm1*1918



                二々维分束器
                型号波长分束数角度
                450-11*11-53450nm11*1153
                525-5*5-7.5525nm5*57.5
                532-5*5-60532nm5*560
                532-7*7-6.8532nm7*76.8
                532-7*7-11532nm7*711
                532*8*8*3.51532nm8*83.51
                532-9*9-50532nm9*950
                532-11*11-50532nm11*1150
                532-11*11-64532nm11*1164
                532-17*17-60532nm17*1760
                532-19-11532nm1911
                532-61-11532nm6111
                565-2*2-5.4565nm2*25.4
                650-15*15-8650nm15*158
                650-17*17-60650nm17*1760
                650-21*21-30650nm21*2130
                694-15*15-7.5694nm15*157.5
                850-65*65-10850nm65*6510
                850-151*47-70*49850nm151*4770*49
                980-9*9-11980nm9*911
                1064-5*5-111064nm5*511
                1064-7*7-5.71064nm7*75.7
                1064-7*7-111064nm7*711
                1064-8*8-3.511064nm8*83.51
                1064-8*8-111064nm8*811
                1064-9*9-5.61064nm9*95.6
                1064-9*9-81064nm9*98
                1064-9*9-111064nm9*911
                1064-7-111064nm711
                1064-19-111064nm1911
                1064-37-111064nm3711
                1064-61-111064nm6111
                1064-61-161064nm6116
                2940-9*9-112960nm9*911
                9600-9*9-119600nm9*911
                10600-5*5-5.710600nm5*55.7
                10600-7*7-1110600nm7*711
                10600-9*9-1110600nm9*911

                应用场景
                应用案例